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真空泵冷卻水流不夠。應加大冷卻水流量，裝配不當，使轉子軸心位移，造成單面磨損。應拆開檢查并重新裝配。因加工不良或磨損造成配合間隙過大。應檢查真空泵腔、轉子、旋片、端蓋板之間的配合間隙，投規定的精度要求進行修復。
真空泵不斷向高速度發展，由于滑片和泵體的高速摩擦使油溫升高，因此使油的熱和氧化作用加劇。而擴散泵往往處于很高的環境溫度下工作，熱氧化差就會使真空泵油氧化變質。造成真空度低下，因此要求真空泵油有良好的熱氧化穩定性。
真空泵安裝在環境清潔、通氣良好，光線充足符合要求的室內。根據使用情況泵應安裝在有一定寬裕的場地，以便于操作維護。真空泵如靠近精密儀表使用時，應考慮增加防震裝置。

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