請問誰知道：Edwards真空分子泵的維修方法有哪些？
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  • 真空度很好的情況下，Edwards真空分子泵油為何會返到前級管道？ 原因：油池裂開或密封不良 解決方法：檢查油池
  • Edwards真空分子泵在運轉過程中，出現頻率從正常下降至一定頻率后又恢復到正常，之后又下降至一定頻率，再恢復到正常，反反復復，更換電源后現象仍如此，請問該現象如何解釋？ 原因：負載太大，系統真空度不夠 解決方法：檢查系統
  • Edwards真空分子泵的變頻器電源在什么情況下會造成程序丟失或者錯亂？ ①電壓不穩②強干擾③高壓打火
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