分子泵作為高真空系統的設備，其穩定運行依賴科學維護。以下為關鍵養護與維修要點：

一、日常維護(操作員執行)

*環境監控：實時監測泵體溫度（外殼≤40℃）、冷卻水流量/溫度（按手冊要求），確保系統真空度穩定（異常下降需警惕）。

*規范啟停：嚴格遵循“先開前級泵，達基礎真空（通常0.1Pa）再啟分子泵”的流程；停機時先關分子泵，待完全停轉（約10-30分鐘）后關前級泵。

*清潔防護：定期清潔泵體灰塵，保持散熱通暢；檢查冷卻水管路無滲漏，水質純凈（防結垢）。

二、定期保養(人員執行)

*軸承維護()：

*每1-2年或運行8000小時，檢查/更換高速軸承（依據振動噪聲判斷）。

*嚴格按手冊使用潤滑脂（如Krytox）及用量，過量將導致過熱。

*密封檢查：每年檢查軸封與法蘭密封圈，老化或破損及時更換，防止漏氣。

*內部清潔：嚴重污染時（如返油），需拆解，用無絨布與溶劑（如IPA）清潔轉子定子，嚴禁刮擦表面。

三、維修注意事項

*斷電泄壓：維修前務必斷電，并確保腔體完全泄至大氣壓。

*軸承更換：需工具拆裝，記錄轉子位置標記，安裝后需精密動平衡校準。

*故障診斷：真空度下降、異響、振動加劇、過熱均為常見故障信號，需結合真空計讀數、控制器報警綜合判斷。

警示：長期停用需每周低速（約10%額定轉速）運轉10分鐘，保持軸承潤滑，防止靜止腐蝕。

遵循上述規程，可顯著延長分子泵壽命，保障科研與生產運行。復雜維修務必聯系原廠或授權服務商。