怎么維修Leybold分子泵？ 知道的請回答

現在Edwards真空分子泵機組的使用頻率很高，這款泵的使用，在應用了以后是可以利用高速旋轉的方式，將氣體分子進行合適的輸送，而且也可以保證定向的速度，進行的氣體壓縮和排放的效率都會提高很多，增加真空.. 全文

當出現警告信息“ EF”時，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機q進行檢查。 在再次打開Edwards進口分子泵之前，請確保水路暢通。 當出現其他報警信號時，嚴禁再次啟動分子泵進行后處理。 全文

打開愛德華分子泵維修之前，必須先打開冷卻水閥。 分子泵的葉輪停止后，必須關閉冷卻水閥。 全文

Edwards二手分子泵中經常掉出頂絲、鏍釘等物體，如M5的頂絲等，請問是否對分子泵的使用有影響？應如何解決？ 原因：應是偶爾發生的事情，可能是平衡中遺漏的平衡釘，對分子泵沒有影響。 解決方式：應是偶.. 全文