渦輪分子泵拆解操作指南一、安全準(zhǔn)備1. 切斷電源并靜置24小時(shí)以上，確保泵體完全泄壓2. 佩戴防靜電手環(huán)、護(hù)目鏡及防塵口罩3. 準(zhǔn)備工具：陶瓷扳手、無塵布、高真空潤滑脂、氮?dú)獯祾哐b置二、拆解流程（1）.. 全文

檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，愛德華分子泵控制器出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵加速指.. 全文

EDWARDS愛德華真空泵長久性停用，需在泵全部拆裝，擦洗水分，將轉(zhuǎn)動(dòng)部位及相接處涂以油脂裝好，穩(wěn)妥儲(chǔ)放。 全文

當(dāng)Edwards二手分子泵未啟動(dòng)時(shí)，檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí)，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。 全文